Matériaux de gravure pour les circuits électroniques perfluorobutadiène

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Attributs du produit

Modèle: Perfluorobutadiene

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Lieu d'origine: CHINE

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Unités de vente:: Ton

Présentation du produit

Le perfluorobutadiène (C4F6) est une sorte de gaz incolore, inodore et insoluble dans l'eau. Son point de fusion est de 132,0 ℃, le point d'ébullition est de 5,9 ℃. Perfluorobutadine est une sorte d'oléfines conjuguées qui contient six atomes de fluor et deux liaisons à double carbone-carbone, comme une sorte d'excellent gaz de gravure, en raison de son rapport F / C unique, le perfluorobutadiène a une sélectivité, une précision et un rapport d'aspect plus élevé Le gaz de gravure du fluorocarbone saturé perfluoré traditionnel, le perfluorobutadiène peut graver moins de 100 nm, un circuit électronique encore plus étroit. De plus, C4F6 a un rapport sélectif plus élevé de photorésistaire et de nitrure de silicium que celui de C4F8, ce qui peut améliorer la stabilité de la gravure, le taux de gravure et l'uniformité, et ainsi améliorer la qualité du produit.

Spécification de qualité

Items	Unit	Index
C4F6	Vol.%	≥99.99
N2	Vol.ppm	≤10
O2+Ar	Vol.ppm	≤2
H2O	Vol.ppm	≤3
CO2	Vol.ppm	≤10
CO	Vol.ppm	≤3
Isopropanol	Vol.ppm	≤5
Other fluorocarbon	Vol.ppm	≤70
（Measured by HF）	Wt.ppm	≤2

Application

Utilisé comme gaz de gravure pour la gravure du plasma des produits semi-conducteurs.

Emballage et stockage

Le perfluorobutadiène est rempli en cylindres en acier avec le modèle de B10, taille de 14 cm × 83 cm, volume interne de 10,1 L, poids brut de 14,7 kg, charge utile de 10 kg. Les spécifications d'emballage peuvent être personnalisées en fonction des exigences des clients.

Groupes de Produits : Matériaux de procédé semi-conducteur > Perfluorobutadine Semiconductor Process Materials

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