Trifluorure d'azote nettoyant pour panneau d'écran LCD efficace

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Modèle: Nitrogen Trifluoride

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Présentation du produit

Le trifluorure d'azote (NF 3 ) est une sorte de gaz incolore, inodore et stable de caractère, c'est aussi une sorte d'oxydant fort. Son point de fusion est de 206,8 ℃, le point d'ébullition est de 129,0 ℃, insoluble dans l'eau. Le trifluorure d'azote dans l'industrie de la microélectronique est une sorte d'excellente gravure du gaz plasmatique, qui est craqué en ion fluor actif pendant le processus de gravure du plasma. Pour la gravure plasmatique du silicium et du nitrure de silicium, l'utilisation de trifluoride d'azote a un taux de gravure et une sélectivité plus élevés que l'utilisation de tétrafluorure de carbone ou de tétrafluorure de carbone et de gaz mixte à l'oxygène, en particulier dans le processus de gravure du circuit intégré avec l'épaisseur de moins de 1,5 μm, Le trifluoride d'azote a un excellent taux de gravure et sélectivité, de plus, il n'y a pas de pollution à la surface du matériau gravé, c'est aussi un bon agent de nettoyage.

Spécification de qualité

Items	Unit	Indexs
（NF3）≥	Vol.%	99.5	99.9	99.98	99.99	99.996
（CF4）≤	Vol.ppm	1500	500	100	50	20
（N2）≤	Vol.ppm	700	50	10	10	5
（O2+Ar））≤	Vol.ppm	700	50	10	5	3
（CO）≤	Vol.ppm	50	10	10	5	1
（CO2）≤	Vol.ppm	25	10	10	5	0.5
（N2O）≤	Vol.ppm	50	10	10	5	1
（SF6）≤	Vol.ppm	50	50	10	5	2
Hydrolyzable fluoride （Measured by HF）≤	Vol.ppm	1	1	1	1	1
（H2O）≤	Vol.ppm	1	1	1	1	1

Application

Le trifluorure d'azote peut être utilisé comme source de fluor de gaz laser chimique à haute énergie et comme agent de gravure pour les matériaux semi-conducteurs tels que le polysilicon, le nitrure de silicium et le silicide au tungstène. Il peut également être utilisé comme agent de nettoyage pour la chambre de dépôt de vapeur chimique et le panneau LCD. Le trifluorure d'azote est utilisé comme agent de nettoyage pour la boîte CVD, ce qui peut réduire les émissions de polluants de 90% par rapport aux perfluorocarbures, et améliorer considérablement la vitesse de nettoyage et la capacité de nettoyage.

Emballage et stockage

Le trifluoride d'azote E est rempli dans un cylindre transparent en acier avec le volume de 8L, 40L, 43,3 L et 47L, respectivement. La pression du cylindre est de 9,0-13,0MPA. Les spécifications d'emballage peuvent être personnalisées en fonction des exigences des clients.

Groupes de Produits : Matériaux de procédé semi-conducteur > Matériaux de procédé semi-conducteur du trifluoride d'azote

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