Hexafluoroéthane de haute qualité de haute qualité

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Modèle: Hexafluoroethane

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Unités de vente:: Ton

L'hexafluoroéthane (C2F6), également connu sous le nom de perfluoroéthane, est une sorte de gaz inerte incolore, inodore et non fracable. Son point de fusion est de 100,6 ℃, le point d'ébullition est de 78,2 ℃, légèrement soluble dans l'eau. En raison de sa stabilité non toxique, inodore et élevée, l'hexafluoroéthane est largement utilisé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. L'hexafluoroéthane, en tant que gravant sec, présente les avantages d'une gravure de très petite gravure côté bord, d'un taux de gravure élevé et d'une précision élevée, qui peut répondre aux exigences du processus de fabrication de semi-conducteurs pour une petite largeur de ligne.

Spécification de qualité hexafluoroéthane :

Items	单位 Unit	Indexs
C2F6	Vol.%	≥99.999
O2+Ar	Vol.ppm	＜1
N2	Vol.ppm	＜5
CO	Vol.ppm	＜0.5
CO2	Vol.ppm	＜0.5
H2	Vol.ppm	＜0.5
Halohydrocarbon	Vol.ppm	＜5
CH4	Vol.ppm	＜1
H2O	Vol.ppm	＜2
Acidity（Measured by HF）	Wt. ppm	＜0.1
Total impurity content	Mol.ppm	≤10

Application:

L'hexafluoroéthane de qualité électronique est principalement utilisé dans le processus de fabrication des matériaux semi-conducteurs et des dispositifs semi-conducteurs comme agent de gravure et agent de nettoyage, ainsi que le gaz d'isolation et le liquide de refroidissement à haute résistance diélectrique.

Emballage et stockage:
L'hexafluoroéthane est rempli de cylindres propres et secs avec un traitement spécial. Les volumes de cylindre sont 4L, 8L, 10L, 12,5L et 40L, etc. Les spécifications d'emballage peuvent être personnalisées conformément aux exigences des clients.

Groupes de Produits : Matériaux de procédé semi-conducteur > Hexafluoroethane Semiconductor Process Materials

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